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山东大学Nano Lett.:基于面内横向同质结的光触发反双极性晶体管

低维 昂维  · 公众号  ·  · 2024-08-04 09:54

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成果介绍

反双极性晶体管在多值逻辑电路、信息加密、光电探测等领域具有重要应用。此前的反双极晶体管主要基于非对称异质结构,这种异质结构的制造具有挑战性且需要精准的能带结构调控。此外,反双极性晶体管用于光电探测,通常会伴随难以抑制的暗电流,导致较弱的灵敏度。

有鉴于此,山东大学 集成电路学院张嘉炜教授、李玉香教授团队 利用金属底电极的屏蔽效应,构建了无异质结构的光触发WSe 2 反双极性晶体管,可用于高灵敏度光电探测器和多值逻辑电路。金属的屏蔽效应导致WSe 2 沟道的单边栅调控,产生内置电场方向随着栅极变化而转向的内置电场,表现出静电可重构和光触发的反双极性输运行为。该器件实现了极低暗电流(0.69 pA)和对635 nm弱光(0.23 μW/cm 2 )的超敏感响应,响应度和探测率分别达到188 A/W和8.94×10 14 Jone。此外,使用单片 WSe 2 构建三元逻辑门器件,大大简化了多值逻辑电路的制造难度。该工作为反双极性晶体管设计提供了新思路。 研究成果以“Light-Triggered Anti-ambipolar Transistor Based on an In-Plane Lateral Homojunction”为题发表于国际期刊Nano Letters。集成电路学院博士研究生韩鹤程为论文第一作者,韩国汉阳大学教授金继东,山东大学教授李玉香、张嘉炜为共同通讯作者。

图文导读

图1. WSe 2 反双极性晶体管的器件结构和传输特性。(a) WSe 2 反双极性晶体管示意图。(b) WSe 2 反双极性晶体管的光学图像。(c)光照(λ为635 nm,功率密度为20.61 μW/cm 2 )下WSe 2 反双极性晶体管的I D -V G 曲线。(d)相应的WSe 2 反双极性晶体管的g m -V G 曲线。

图2. 面内同质结的形成。(a) WSe 2 反双极性晶体管在暗光照射下的I D -V G 曲线。(b)光照下WSe 2 反双极性晶体管的I D -V D 曲线。(c) WSe 2 反双极性晶体管的部分AFM图像。(d)图c中虚线框选区域的KPFM映射图和功函数直方图。

图3. 光触发反双极性输运机制。(a)SPCM图像的实验设置。(b)用于SPCM测量的WSe 2 反双极性晶体管的光学照片。(c)不同栅极电压下WSe 2 反双极性晶体管的SPCM图像。(d)光照下WSe 2 反双极性晶体管的能带图。红色和蓝色圆圈分别表示光生载流子和栅极诱导载流子。

图4. 非对称电极结构的WSe 2 反双极性晶体管自供电光电探测性能。(a)不同功率密度下WSe 2 反双极性晶体管的I D -V D 曲线。(b)不同功率密度激光照射下器件的光响应特性随时间的变化。(c)示波器捕捉到的WSe 2 反双极性晶体管光响应波形。(d) WSe 2 反双极性晶体管的响应度(黑色)和探测度(红色)随光照强度的变化。

图5. 弱光检测和三元逻辑门。(a)不同功率密度(0.23 ~ 2.88 μW/cm 2 ) 下WSe 2 反双极性晶体管在暗光(λ = 635 nm)照射下的I D -V G 曲线。(b)不同功率密度(0.23 ~ 2.88 μW/cm 2 )光照(λ为635 nm)下WSe 2 反双极性晶体管随时间变化的光响应特性。(c)功率密度在0.23 ~ 2.88 μW/cm 2 范围内,WSe 2 反双极性晶体管的响应度和探测度随功率密度的变化规律。(d)弱光探测器性能指标对比。(e) WSe 2 三元逆变器原理图。(f)三相逆变器(V







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