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钛(Ti)与氮化钛(TiN)为什么要结合使用?

中科院半导体所  · 公众号  ·  · 2024-06-06 14:21

正文


文章来源: Tom聊芯片智造

原文作者: Tom


一般W在镀膜前会长两层薄膜,Ti 和 TiN,分别是什么作用呢? 不长 Ti 直接沉积一层 TIN 可不可以呢?


1. Ti与TiN的性质对比


性质 钛(Ti) 氮化钛(TiN)
密度 4.51 g/cm³ 5.22 g/cm³
熔点 1668°C 2950°C
维氏 硬度 70-80 HV 1800-2100 HV
莫氏硬度 6 9
电阻率 42-60 µΩ·cm 25-30 µΩ·cm
导电性 较好 较好
热膨胀系数 8.6 µm/m·K 9.35 µm/m·K
颜色 银灰色 金黄色
耐腐蚀性 较好 优秀


从上表上可以得出几个结论:


  • 氮化钛非常硬







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