气体侦测系统（GMS）架构及相关知识

半导体工厂使用多样之特殊气体，特性有：腐蚀性、氧化性、易燃性、自燃性、毒性、窒息特性。因此为维护厂内人员之安全、环境保护、公司财产，故需设置完善的气体安全系统，以防范危险于未然。

什么气体环境需要被侦测？

答：除空气之外的任何气体环境都需要被监视侦测

以下制程均存在各种各样的气体危害：

Rikenkeiki

气体监控系统，简称GMS系统，GMS系统设置之目的大致包括：

A ：气体侦测系统职能，旨在监测工艺所使用之供气设备 (如GC、VMB、Purifier…等) 及毒性或有害气体是否泄漏，及作业环境中毒性气体及氧气之浓度，并于泄漏时提供警报信号予气体供应系统连锁连动，并藉由广播系统及本地报警单元传达警告讯息。

B ：气体监控系统之职能，包括而不仅限于供气设备 (如GC、VDB、VMB、Purifier…等) 、尾气处理装置、大宗气体供应系统及附属设备仪器仪表、其他仪器仪表 （如，EMO/LAU、地震仪、风速计、风向仪） 等

TLV定义：全名为：Threshold Limit Value：八小时日平均容许浓度 (TLV-TWA) ：一般健康劳工在此浓度下，每天工作八小时，每周工作五天，终其一生不致对身体造成不良影响，也就是说每天工作暴露8小时，有16小时可以代谢排出，每周工作5天，有2天可以代谢排出，一辈子不致对身体有不良影响。

常用的侦测器品牌大致如下：

• Riken

• DOD

• Mastek
  

• Midas - Honeywell

• Vertex - Honeywell

• Draeger

• BIONICS
  

• COSMOS 等

  
  

三种常见类型侦测器

• 半导体式

半导体式监测器灵敏度高，以监测低浓度 (ppm level) 之气体为最常见，一般可用于毒性及爆炸性气体之监测。

• 电化学式(electrochemistry)

---电化学式监测器主要分为三类：定电位电解式、隔膜离子电极式、与伽凡尼电池式三种，其中以定电位电解式最常见。

---定电位电解式监测器系将两电极浸置在一液状、胶状或饱和多孔性固态电解质中，参考电极在于使对电极保持固定电位，当欲分析的气体溶入电解液内，于作用电极发生''氧化或还原反应，同时对电极发生相对应之还原或氧化反应。

• 比色分析器(colorimetric analyzer)

---主要分为反应纸带及色带式监视器(chemcassette optical method)，藉由气吸附于固相上与显色剂反应而造成颜色变化。

---色带式监视器在其色带上涂覆有特殊试剂，环境空气中若有待测气体存在时，该气体会与试剂反应，使纸带变色。

侦测器安装位置图 - Riken

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侦测器安装布点原则：

• 侦测点以布置于Damper前为原则，确保侦测器永远处于侦测状态