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尼康起诉ASML侵权,曾经光刻巨头的最后挣扎?

半导体行业观察  · 公众号  · 半导体  · 2017-04-25 08:31

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来源:内容来自 新浪科技和知乎 ,谢谢。

尼康今日宣布,已对荷兰半导体行业光刻系统供应商阿斯麦(ASML)和德国光学及光电子学设备厂商卡尔蔡司(Carl Zeiss)提起诉讼,指控这两家公司未经授权而使用其光刻技术。尼康称,已在荷兰、德国和日本对阿斯麦和卡尔蔡司提起诉讼。卡尔蔡司是阿斯麦的光学设备供应商。尼康在一份声明中称:“阿斯麦和卡尔蔡司在未经尼康许可的前提下,在阿斯麦的光刻系统中使用尼康的专利技术。”

当前,光刻系统被广泛应用于制造半导体,而阿斯麦又主导着半导体光刻机市场。评级机构“惠誉评级”(Fitch Ratings)今年1月发布的调研报告显示,在高端光刻机市场,阿斯麦的份额高达90%。

尼康在诉讼文件中称,要求阿斯麦和卡尔蔡司对未授权使用专利技术而做出赔偿。

对此,阿斯麦总裁兼CEO彼得·温尼克(Peter Wennink)称:“尼康的诉讼毫无依据,没有必要,为半导体市场制造了不确定性。”温尼克还称,阿斯麦曾多次试图与尼康谈判,希望能对当前的一份交叉授权协议进行延期。

尼康和ASML的现状对比


尼康现在之所以还算一家半导体设备供应商,那是因为尼康的屏幕面板光刻机业务还在正常运营(尽管面板光刻机是个小众市场,技术要求比芯片光刻机低很多,微米级就够了)。


以前尼康也卖过一些光刻机给intel,可是现在先进制程设备采购上,intel看不上尼康的光刻机,想扶一把也没用。现在尼康精机部门就是靠着面板光刻机撑着,毛利润时而有,时而无,亏损是常事,某个季度一旦扭亏,尼康精机就会显示为业绩增长百分之好几百。(从亏损1亿到扭亏赚了1亿,请问业绩增长多少?)


尼康最新的Ar-F immersion 630卖价还不到ASML Ar-F immersion 1980D平均售价的一半,更别说和ASML划时代的EUV 光刻机比了。ASML 第12台EUV光刻机发货中。(EUV才是人类文明 半导体技术延续 的基石)


2016 年Q2 Q3 ASML ship出去的两台 EUV NXE 3350B 单价已经超过1亿美元, Ar-F immersion价格 平均价位是4000万欧元~5500万欧元左右,以上是算进了refurbished的machine,如果不算,应该更高, 下面仔细分析下2015年和2016年的ASML 季度各个销售机型数量和销售额(不包括 solution 的收入) 在ASML的2015年Q4季度报中,ArF Immersion 共销售11台,销售额881million 欧元 乘以72%(不包括solution收入), 算下来平均每台售价达到5800万欧元,约合7300万美元。


如下报表,ASML的Ar-F immersion 在Q1销售15台,销售额856million euro乘以 79%(不包括solution部分):



每台价格 约4200万欧元。



其中ASML 在 2016年Q2季度销往美国芯片厂的占21%,销往韩国新品厂占20%,销往台湾芯片厂的占28%。


基本就是ASML三大优先客户: intel、三星、台积电 三巨头争霸的格局。 值得注意的是2016年Q1的ASML销售额中,有35%销往中国,除了三星在西安的超大型3D 10纳米级NAND芯片厂扩产外 和intel在大连的芯片厂升级外,中国本土厂商也买到了ASML的光刻机(不过由于北约的瓦森纳协议限制,中国只能买到中低端ASML光刻机). 这是中国外交的一大突破。


下面我们来看看尼康的财务报表是多么得惨淡,先上一封 尼康各个季度报表中 最靓丽的报表:

可以看出尼康的芯片光刻机惨不忍睹,算上尼康的面板光刻机(至少比佳能强多了),一共33台,平均单价只有14亿日元多(其中包含了solution的销售额,扣除solution销售额尼康的单机价格更低),单价只相当于ASML价格的三分之一。


下面来个更惨的尼康季度财报:


这个季报里面,尼康精机销售额更少了才354亿日元,即使尼康精机有面板光刻机撑着,断断续续的亏损也还是常事,12台 5G/6G 的面板光刻机总算填补了财报窟窿,勉强有毛毛雨般的毛利润。(才33亿日元)


可以断言。如今ASML的芯片光刻机已经把日本的芯片光刻机厂商尼康和佳能都踩烂了,芯片光刻机进入EUV时代,ASML从此奠定垄断地位,佳能直接退出芯片光刻机领域了,仅保留低端半导体的i-line 和Kr-F 光刻机。尼康还在垂死挣扎。半导体先进制程垄断三巨头(台积电,三星,intel)就是ASML的股东,拥有ASML的EUV光刻机的优先供货权。


尼康光刻机是怎样步步走向灭亡


据一位曾在半导体晶圆厂工作过的人员表示, 从其进入半导体行业起,尼康的芯片光刻机就在逐渐衰落,而荷兰ASML则一步步占据市场统治地位,尼康光刻机唯一剩下的优势就是同类机型价格不到ASML的一半。但英特尔在新制程中停止采购尼康的光刻机给了尼康致命一击。据了解,所有主流半导体产线中只有少数低阶老机龄的光刻机还是尼康或者佳能,其他基本都是ASML的天下。


据这位行业人士透露, Intel新CEO上台后,不再延续与尼康的620D合同,尼康推出了630D后,intel也无动于衷,尼康投标失败。尼康光刻机的小问题不少,trace 判定能力不行,经常出错。troubleshooting时非要有特定经验的人才能凭第六感觉判断问题。而且不能做到真正意义上的scan 和 etching 同步,这与ASML的dual scan 差太远,还有一系列小问题时而在不同的尼康机型上发生,操作系统上设计的架构有缺陷,这些虽然是原因之一,但都不是尼康的致命问题, 最致命的就是尼康620D在黄光之后做不下去。overlay实际效果和尼康官方的specification 差了一大截。这个是process engineer 们不能容忍的,先进制程本来就是烧钱的,成本不在边际考虑因素中,鉴于现状,technical support 团队是不能容忍采购团队为了省成本而去采购尼康光刻机。


在其工作的FAB,两台尼康620D都是这个情况,这还是他们尼康销售人员低价打进来的两台设备,晶圆厂自然不满意,也就没有再尝试买尼康的ArF 浸润光刻机,直到现在,高精度 etching 和scan 环节仍然都是ASML光刻机。而在低阶的KrF 光刻机上采购上偶尔会选择佳能,因为超级便宜,并且这个DRAM的第一步etching 环节根本没有太高技术要求。







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