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半导体,百级和千级FFU布置率是怎么计算的?

洁净工程联盟  · 公众号  · 半导体  · 2024-12-09 11:20

正文

1 满布率:在垂直单向流顶棚上高效过滤器的满布率要在80%以上,有时规范认为70%以上即可,但考虑到洁净棚的密闭性比一般洁净室差一些,建议提高到80%。2 计算公式:由于百级洁净室通常要求满铺FFU,因此其布置率可以直接按照顶棚面积的80%-100%来考虑。具体计算时,可以参考以下步骤: 确定洁净室的总面积 AA(长 × 宽) 计算所需FFU数量:N=A×满布率/单个FFU覆盖面积N=A×满布率/单个FFU覆盖面积3 千级洁净室的要求相对百级较低,但仍需保持较高的洁净度。其FFU布置率可以根据附图的公式进行计算:

来源:洁净工程联盟

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