Semi Display / 三星电子的子公司、韩国最大的半导体设备制造商SEMES(世麦斯)7日宣布，其开发的下一代氟化氪(KrF)光刻工艺用涂胶显影设备(光刻轨道设备)“Omega Prime”(欧米伽·普莱姆)已通过客户公司的质量测试。据称，三星电子每年在该设备采购上投入数千亿韩元，此次国产化有望带来可观的收益。
涂胶显影设备(光刻轨道设备)是半导体制造工艺中用于在晶圆上均匀涂覆光刻胶(PR)，并在曝光机照射光线后进行显影的设备。目前，日本东京电子(TEL)在该市场占据90%以上的份额，几乎处于垄断地位。
SEMES是目前唯一实现该设备由韩国本土企业成功制造的案例。此前，SEMES已生产氟化氪(KrF)设备以及氟化氩浸没式(ArF-i)设备。半导体光刻技术主要分为氟化氪(KrF)、氟化氩(ArF)和极紫外光(EUV)三种。
此次开发的下一代氟化氪(KrF)光刻轨道设备“Omega Prime”能够应对WLPAD(Word Line Pad)工艺，与现有设备相比，每小时的晶圆处理能力提高了20%以上。公司表示，该设备采用了自动校正和自动化系统，能够显著改善工艺的均匀性，从而提高产量和性能。
SEMES光刻团队负责人张世渊(音译)表示：“‘Omega Prime’的开发有望在未来实现大规模的进口替代。”他还表示：“未来，我们将继续推出以高附加值为中心的差异化设备，引领技术领导力。”
(来源：韩媒
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