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中研股份PEEK晶圆盒专用产品

艾邦高分子  · 公众号  · 化学  · 2024-09-05 18:08

正文


在全球集成电路制造产能持续紧张的背景下,近两年我国集成电路相关领域的投资显著增加。

这种背景下,半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造投资额的大幅增长,这一趋势也带动了对PEEK材料需求的上升。

在半导体产业中,PEEK材料制成的CMP保持环和晶圆盒越来越受到关注,并得到了广泛应用。

PEEK材质晶圆盒的优势

而中研股份本次推出的四款PEEK产品,便是晶圆盒的理想选择。

Part1产品介绍

中研股份专为晶圆盒这一特定应用场景研发了这款产品。

自2021年推出第一代晶圆盒产品以来,公司研发团队持续专注于技术创新,成果显著。

目前,中研股份的晶圆盒专用产品包括 310WA251310WA252310WA253310WA254 四个牌号。

防静电性易加工性外观上均有卓越表现

Part2产品优势

1卓越的防静电性能

目前晶圆盒专用产品的表面电阻率可达 -
也可根据客户需求,达到客户需求的防静电等级

2测试认证评估

已通过禁用物质(如RoHS、REACH等)测试,也通过了金属离子表面阴阳离子测试。

3良好的加工性能

在加工性能方面,晶圆盒专用料继承了中研股份PEEK产品易加工的特点,表现同样优秀,适用于晶圆盒注塑成型加工 。

4良好的尺寸稳定性

晶圆的尺寸是固定的,产线是高度自动化,晶圆要装载到晶圆载具中时,需要晶圆盒的内部齿形部分的尺寸是稳定的,少许的偏差会导致晶圆损坏。并且在高低温循环后依然能够保证尺寸稳定。

因此,晶圆盒的尺寸稳定性至关重要。

5良好的注塑外观

晶圆载具外观光滑平整,没有明显的花纹和流痕

Part3产品工艺

我们的晶圆盒产品使用“溶液-研磨-高速”分散工艺:

溶液分散能使助剂均匀附着于PEEK表面,增强PEEK的表面活性

研磨分散能使导电剂与PEEK紧密贴合,使产品的电性能更加稳定

最后通过高速分散使填料与各组分均匀分散,保证产品质量稳定性和一致性

Part4产品详解

以下为四款PEEK晶圆盒专用产品介绍。

310WA251

  • 应用领域:主要用于初代晶圆盒,已经稳定量产。
  • 表面电阻率:-

310WA252

  • 应用领域:针对新一代晶圆盒的创新之作,代表了市场上新一代的防静电产品,已经通过了客户的验证阶段,目前为主推型号
  • 表面电阻率:可稳定在 -
  • 定制化:可根据客户需求调整表面电阻率,提供定制化服务

310WA253

  • 客户定制款

310WA254

  • 表面电阻率:- ,具有更宽的应用范围。
  • 外观:产品外观鲜亮,加工后的晶圆盒光滑平整无明显花纹和流痕

Part5解决方案与服务理念

研发实力

中研股份拥有高效的研发与检测团队,能够快速响应客户需求,最快半个月内推出新配方,提供定制化解决方案。

质量保证

检测团队提供全面数据分析服务,确保产品性能符合客户使用标准。

技术优势

公司防静电PEEK改性技术已实现工业化,市场反馈良好。

高效测试

具备模拟条件和晶圆载具模具,研发新产品后可直接注塑成型进行内部测试,客户可直接评价注塑成品,减少试模频率,提高测试速度,降低测试成本。

中研股份PEEK产品的优势

中研股份持续坚守品质与创新,深化PEEK树脂领域探索,致力于材料性能提升与成本优化,赋能产业升级。

以市场需求为舵,以技术突破为帆,引领国产PEEK行业破浪前行,为不同行业、不同领域走向更智能、更可持续的明天。

来源:中研股份

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活动推荐:

第九届特种工程塑料产业论坛


2024年10月17日  

苏州

论坛议题(拟):


序号

演讲议题

演讲单位

1

PPS在薄膜电容器中的应用

聚真科技

2

制氢隔膜用PPS纤维的开发

中国纺织科学研究院 

3

PPS在新能源领域的应用

中科兴业

4

PEEK在植入级医疗器械中的应用

江苏君华

5

聚芳醚酮PAEK/CF热塑性复合材料开发及应用

中国科学院大连化学物理研究所

6

PEEK精密管材在医疗器械中的应用

邀请中

7

PEEK在半导体领域的应用

邀请中

8

国产聚砜材料的开发和应用

邀请中

9

高性能PPS薄膜开发及应用

邀请中

10

PPS改性开发及应用

邀请中

11

PEEK在机器人行业的应用潜力

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12

聚砜材料在水处理/宠物房等领域的应用

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13

高性能氟聚合物的创新应用

邀请中

14

LCP材料的创新应用

邀请中


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