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简介
二维材料为继续推动摩尔定律的发展提供了新的可能性,近年来基于这些材料的电学器件研究吸引了众多关注。在二维电学器件的制备中,可转移金属电极通过机械堆叠的方法能够和二维材料形成范德华接触,有效避免了传统微纳加工对二维材料的损伤,从而提高器件良率。此外,相比于传统光刻-蒸镀工艺,可转移金属电极即取即用,契合目前二维材料研究领域中广泛使用的转移技术,可在短时间内快速加工制备二维电学器件,提高器件产率。
相关参数
电极线宽
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≥ 3
μ
m
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沟道尺寸
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≥ 2
μ
m
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电极尺寸
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μ
m ~ mm
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电极形状
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形状可定制(叉指电极,霍尔电极,微纳天线等)
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金属种类
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Au/Ag/Pd/Sb等
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适用衬底
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光滑硬质衬底,如硅片、蓝宝石、金刚石等
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可转移金属电极结构及详细参数
可转移金属电极的结构如图1所示,从下往上依次是载玻片,自制柔性聚合物绝缘衬底,金属电极。
标准电极的尺寸如下图所示,成分是
50
nm
厚
的金。
图2. 叉指电极的尺寸
图3. 两端电极的尺寸
图
4
.
各向异性电极的尺寸
图5.正交电极的尺寸
图6.大尺寸霍尔电极的尺寸
图7.金属波导电极的尺寸
上
海
昂
维
科
技
有
限
公