《工业水处理》：锂电池生产废水处理及回用工程实践

摘要： 针对锂电池在生产制造过程中产生的阳极废水和阴极废水特性，设计采用分类收集、分类预处理后再集中进行生化处理的思路对废水进行处理。以广东某新能源公司锂电池生产废水为例，简述了其废水特性及阳极废水和阴极废水处理工艺的选择原则，在此基础上提出了具体的废水处理工艺。阳极废水采用混凝沉淀+厌氧+AOA+MBR工艺处理，处理后出水达到《电池工业污染物排放标准》（GB 30484—2013）表2新建企业水污染物及广东省地方标准《污水综合排放标准》（DB 4426—2001）表4第二类污染物排放标准后排放。阴极废水采用Fenton氧化+混凝沉淀+UASB+二级AO+MBR工艺处理，其出水再经二级RO/MVR处理后，回用水及冷凝水达到《采暖空调系统水质》（GB/T 29044—2012）表1中的补充水标准及《城市污水再生利用 工业用水水质》（GB/T 19923—2005）表1标准后回用，浓水经MVR系统蒸发结晶。工程实践表明，系统运行稳定，处理后阳极废水满足排放标准；阴极废水满足回用水标准，成功实现零排放。

锂电是一种清洁能源，在锂电池制造过程中，会生成一定量的废水。这些废水主要源自阳极和阴极制造，内含可再利用的原料、悬浮颗粒、有机物，以及氨氮。

尽管含有的有机物质没有毒性，但它们具有较高的浓度和易腐性质，一旦排放到水域，将消耗大量溶解氧，从而对水环境造成极大的负面影响。

锂电池生产废水分为阴极废水及阳极废水，阴极废水主要污染物质有钴酸锂、导电碳、聚偏二氟乙烯（PVDF）、PVDF-钴酸锂、羧甲基纤维素钠（CMC）、N-甲基吡咯烷酮（NMP）、铝箔等，阳极废水主要污染物质有石墨、导电碳、聚苯橡胶粘和剂（SBR）、铜箔等。

两类废水具有以下特点：

1）阴极废水和阳极废水性质不同，需分别收集预处理；

2）阴极废水中含有回收价值颇高的原材料，如钴、锂等，需要提纯回收；

3）阴极废水中含有重金属钴、镍、锰，工程设计时需单独考虑以上重金属离子的去除；

4）阴极废水和阳极废水有机物浓度高，且废水中含有不易通过好氧生化降解的大分子有机物，属高浓度难生化的有机废水。

本工程针对锂电池生产废水特性，以广东某新能源公司锂电池生产废水为处理对象，采用分类收集、分类预处理后再集中进行生化处理的工艺流程，实现了废水的达标处理。

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工程概况

以广东某新能源公司锂电池生产废水为处理对象，按阴极废水135 t/d、阳极废水135 t/d的处理规模设计废水处理工程。阳极废水处理后达标排放，阴极废水处理后进行回用。

电池制造行业建设项目工业废水排放标准自2014年起均执行《电池工业污染物排放标准》（GB 30484—2013）中 表2 新建企业水污染物排放限值标准，同时，当地生态环境主管部门要求执行广东省地方标准《污水综合排放标准》（DB 4426—2001） 表4 第二类污染物排放标准。阴极废水处理后进入回用系统，回用水用于NMP回收冷却塔补水及其他用途，对应设备的排水回到阴极废水处理系统，浓水进入机械式蒸汽再压缩（MVR）蒸发系统经浓缩结晶后产品外运，实现重金属零排放。

回用系统出水水质应同时满足《采暖空调系统水质》（GB/T 29044—2012） 表1 中集中空调间接供冷开式循环冷却水系统的补充水标准及《城市污水再生利用 工业用水水质》（GB/T 19923—2005） 表1 中工艺与产品用水的水质标准，同一项目以较严的标准执行。为满足以上要求，本项目设计进水水质及外排水水质见 表1 ，回用系统出水水质见 表2 。

表1  设计进水水质及外排水水质

表2  回用系统出水水质

表3  每日药剂消耗

表4  每日运营人员构成

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生产废水处理工艺

2.1 工艺选择总则

基于本工程中的锂电池生产废水特性，设计采用分类收集、分类预处理后再集中进行生化处理的思路对其进行处理，其处理难点主要包括以下几点：

1）工程设计中，存在于阴极废水中的重金属离子（如镍、锰、钴）的去除需要被单独考虑。

2）阴极废水中有机物含量较高，具有较差的可生化性，因此，在预处理过程中，需实施适当的强化处理措施以改善其可生化性。

3）由于生产废水的可生化性一般，生物处理工艺的选择必须小心谨慎，尤其是对于厌氧处理工艺的选择。

4）由于废水总氮较高，所采用的生物处理工艺在去除COD的同时需要考虑氨氮及总氮的去除。

5）由于阴极污泥中含有重金属钴、镍、锰，其脱水处理需单独进行，同时需要尽量考虑污泥的减量化问题。

此外，工程设计中还需充分考虑以下几点：

1）在满足排放标准前提下选择投资最省、运行费用最低、效果最好的处理技术；

2）处理设施应运行稳定，操作管理简便；

3）处理工艺应能适应污染物在一定浓度范围内的波动。

2.2 污水处理工艺的选择

2.2.1 阳极废水预处理工艺的选择

预处理可使废水中对微生物有抑制作用的成分得到最大程度的去除或转化，保障生化池的正常运行，同时可降低COD，减轻后续生化池的运行负荷。根据以往工程运行经验，阳极废水经混凝沉淀处理后COD去除率高达50%，因此阳极废水只需混凝沉淀即可满足预处理要求。

2.2.2 阴极废水预处理工艺的选择

阴极废水中存在低浓度钴、镍、锰重金属离子，其可通过与OH-反应生成沉淀的方式被去除。这种方法操作过程简便，且成本可以保持在较低水平。

为保障重金属离子的充分去除，在阴极沉淀池后设置中间水池用于暂时储存阴极混凝沉淀出水，待重金属检测合格后再进入下一步处理。若重金属检测不合格则将中间水池内的废水排入事故池或阴极调节池再次处理。

由于阴极废水COD高，成分复杂，除混凝沉淀外，还应采用Fenton氧化进行预处理。Fenton氧化不仅能有效去除COD，同时能够使得有机分子内的双键发色团断裂，实现脱色，并有效提升B/C，提高废水可生化性。

2.2.3 阴极及阳极废水生化处理工艺的选择

本项目废水有机物浓度高，阴极、阳极废水经预处理后仍属高浓度有机废水，但出水B/C大于0.35，可生化性增强，可采用生化处理技术进行后续处理。考虑到直接采用好氧生化处理时，有机负荷过高且曝气能耗较大，本研究选择采用以厌氧-缺氧-好氧处理系统为核心的生化处理技术。

1）厌氧处理工艺。

厌氧反应可在无能耗条件下将有机物大部分降解到适宜于好氧生化反应的水平。厌氧反应器内存在兼性酸化菌，其能够把高分子有机物转化为较小分子的脂肪酸，便于聚磷菌对其的摄入。反应器内众多微生物能够吸收简单易降解有机物，如乙酸、甲酸、丙酸和乙醇等，将其储存于体内用作养分，并且通过以PO ₄ ^3- 形式释放储存在体内的聚磷酸盐获取所需能量。为实现高效的厌氧处理，反应器内必须保持较高的微生物密度、较长的污泥龄及较短的水力停留时间。考虑阴极废水污染物浓度高，而阳极废水污染物浓度相对低一些，故阴极废水采用UASB工艺，阳极废水采用水解酸化工艺。

2）缺氧及好氧处理工艺。

由于本项目阳极出水氨氮须小于10 mg/L，总氮须小于40 mg/L，阴极回用水氨氮须小于10 mg/L，因此好氧处理工艺在去除COD的同时必须具有硝化及反硝化功能，对此，本工程阳极废水选用AOA工艺，阴极废水选用两级缺氧-好氧（AO）工艺。

通过工艺的实施，将缺氧和好氧阶段有效串联起来，实现了在A段溶解氧不超过0.2 mg/L，而在O段溶解氧保持在2~4 mg/L的优化处理条件。

在缺氧阶段，异养菌将污水中的淀粉、纤维素及其他碳水化合物类悬浮污染物以及可溶性有机物水解成有机酸，使得大分子有机物降解成小分子状态，促使不溶性有机物转变为可溶性形态，进一步提高废水的可生化性以及对氧的利用效率。

缺氧阶段还涉及异养菌对蛋白质和脂肪等污染物的氨化作用，即在有机物链上的氮或氨基酸中的氨基被转化为游离态氨（NH ₃ 、NH ₄ ⁺ ），随后，在充分供氧的条件下，自养菌的硝化过程会将NH ₃ （NH ₄ ⁺ ）转化成NO ₃ ^- 。

3）MBR工艺。

膜生物反应器技术（MBR）是生物处理与膜分离技术相融合的产物，其有效替代了传统流程中的二级沉淀池，不仅能够实现高效的固液分离，产出可直接利用的稳定再生水，还能在生物处理池中保持较高的微生物浓度，大幅减少产生的剩余污泥量。此外，MBR技术对氨氮的去除效率极高，出水悬浮固体和浊度极低。同时，该技术还可以显著降低出水中细菌和病毒的含量，且具有较低的能源消耗和较小的占地需求。

2.2.4 污泥处理工艺的选择

在废水处理中，物化污泥和生化剩余污泥的生成不可避免，如果处理和处置不当，将导致二次污染，尤其是含有重金属的阴极污泥。为降低污泥产量，阴极系统和阳极系统污泥需要进行独立的脱水处理。鉴于污泥处理成本较高，选择处理后污泥含水量较低的板框压滤机对污泥进行脱水处理是一种经济有效的方法。

2.3 污水处理工艺流程

基于污水特性及工艺选择原则，本项目生产废水处理采用的工艺流程见 图1 。

图1  生产废水处理工艺流程

阳极废水经车间收集流至污水处理站的阳极废水调节池中进行水质、水量的均化，再由提升泵提升进入混凝沉淀池中，在聚合氯化铝（PAC）及聚丙烯酰胺（PAM）的作用下进行混凝沉淀，沉淀后的上清液进入生化系统，经由厌氧+AOA+MBR工艺处理，在MBR膜被固液分离后达标排放，排放口设置监测池，当出水水质异常时关闭排放阀，查找原因，解除异常后再达标排放。阳极废水混凝沉淀池中的沉淀物、生化系统污泥排入阳极污泥浓缩池进行污泥浓缩，浓缩后的污泥再泵入板框压滤机脱水，脱水后污泥委外处理，而阳极污泥浓缩池上清液、板框压滤机滤液则排入阳极调节池中继续处理。

阴极废水经收集流至污水处理站的阴极废水调节池中进行水质、水量的均化，之后由提升泵提升进入Fenton反应池中，调节废水pH为3~4，在双氧水、空气及硫酸亚铁的作用下，将废水中部分难生化降解的有机物去除，降低色度，提高废水的可生化性。

Fenton反应池出水自流入混凝沉淀池中，投加NaOH调节pH至10左右，再投加PAC、PAM去除水中的悬浮物、重金属离子及部分难降解物质后，上清液自流进入中间水池，通过生化提升泵进入生化处理阶段，以UASB+AO+AO+MBR系统进行处理，最后经过MBR膜固液分离后的出水进入中水回用系统，经回用系统处理得到的净制水排到回用水池用作NMP冷却塔补水。

阴极废水混凝沉淀池沉淀的物质以及来自阴极生化系统的污泥被转移至阴极污泥浓缩池进行浓缩作业。经过浓缩的污泥随后被输送至板框压滤机进行脱水后委外处理，阴极污泥浓缩池的上清液和板框压滤机的滤液则被导入阴极调节池进行进一步处理。

此外，根据有关设计规范，全流程管道设置有事故超越管。

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中水回用系统设计

依照工业废水回收率=回收水量/（工业外排水量+回收水量）计算废水回收率，其应≥50%。本项目中回收水水源是阴极生产废水（135 t/d），处理后回用水用作循环冷却水补充水，即阴极废水应达到零排放。对此，设计一级RO单元废水回收率≥65.7%，二级RO单元废水回收率≥58.3%，蒸发系统废水回收率≥95%，整体废水回收率≥99.3%。回用水应同时符合GB/T 29044—2012 表1 中的补充水标准及GB/T 19923—2005 表1 中工艺与产品用水的水质标准，同一项目以较严的标准执行，浓水经MVR系统蒸发结晶。本项目中水系统工艺流程详见 图2 。

图2  中水系统工艺流程

阴极生产废水清水池中的处理水经提升泵加压依次提升至石英砂过滤罐、活性炭过滤罐，通过物理吸附和化学吸附将杂质吸附在石英砂和活性炭内，同时去除水中的部分离子、气味，改善水质。

之后废水进入RO单元进行深度处理，利用膜的筛分作用、选择透过性及加压方式截留水中悬浮物、胶体、无机离子、大分子溶质，从而获得符合要求的净制水。经过RO处理的水进入到回用水池用作冷却塔补水，浓水进入二级RO。

二级RO处理后的水回到回用水池，其浓水进入浓水箱，之后经进料泵被送到分离器内，启动强制循环泵，加热至85~90 ℃时启动压缩机进行闪蒸蒸发，当料液浓缩到所需浓度后，经出料泵进入稠厚器降温增稠，再进入到分离器进行固液分离，分离出的结晶盐收集委外，母液排到母液罐回流至分离器内继续闪蒸蒸发。

在蒸发系统中，产生的二次蒸汽经蒸汽压缩机压缩后被导回到加热器，用于进一步加热原料液体，再次产生蒸汽，循环加热，且换热凝结成冷凝水后，自流至冷凝水罐，经冷凝水泵送到换热器与原料进行换热，经换热降温的冷凝水进入回用水池。

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主要构筑物及设备参数

本工程设计处理水量为270 t/d，其中阴极废水处理系统设计处理水量135 t/d，阳极废水处理系统设计处理水量135 t/d。每天进水时间按22 h计算，同时考虑污泥脱水过程中产生的滤液，阴极系统的清洗排水等情况，阴极、阳极生产废水设计流量分别为7.0 m³/h及6.5 m³/h。

4.1 污水处理单元

4.1.1 阳极污水处理单元

1）阳极废水调节池。阳极生产废水水质、水量波动较大，设计调节池以均衡其变化，减轻对处理设施的冲击。数量1座，尺寸6.20 m×4.80 m×5.00 m，有效容积139 m³，地上钢砼结构，设置顶部盖板，三布五涂防腐，停留时间24 h。其附属设备包括穿孔曝气装置1套、一级提升泵2台（1用1备）、电磁流量计1套、液位控制器1套。

2）阳极混凝沉淀池。在此通过投加液碱调节阳极废水pH，并投加PAC、PAM将废水中的胶体物质、悬浮物混凝沉淀去除。设置混凝池2座，单座尺寸为1.20 m×1.20 m×5.00 m，地上钢砼结构，三布五涂防腐。设置沉淀池1座，尺寸为4.80 m×3.00 m×5.00 m，表面负荷0.45 m3/（m2·h）。其附属设备包括加药计量泵5台（3用2备）、溶药装置3套、pH在线检测仪1套、穿孔曝气装置3套、排泥泵2台（1用1备）。

3）阳极中间水池。用于调节沉淀池出水，并防止沉淀池污泥进入生化系统。数量1座，尺寸2.00 m×1.20 m×5.00 m，地上钢砼结构。

4）阳极厌氧池。通过厌氧处理将废水中有机污染物的浓度降低到适合好氧生化处理的水平。数量1座，尺寸4.80 m×3.60 m×5.00 m，有效容积78 m³，地上钢砼结构，停留时间12 h。附属设备包括厌氧池布水器1套、填料及支架1套、潜水搅拌机1台。

5）阳极缺氧池一。本单元有机物在兼氧微生物作用下分解，去除部分COD和BOD，硝化液回流，进行反硝化反应。数量1座，尺寸4.80 m×2.60 m×5.00 m，有效容积56 m³，地上钢砼结构，停留时间8.64 h。附属设备包括潜水搅拌机1台、营养液配制装置1套、加药计量泵1台。

6）阳极好氧池一。在有氧条件下，污水与附着在填料表面的生物膜充分接触，通过生物降解作用去除污水中的有机物、营养盐等，使污水得到净化。数量1座，尺寸4.80 m×7.80 m×5.00 m，有效容积168.48 m³，地上钢砼结构，停留时间25.92 h。附属设备包括罗茨鼓风机2台（1用1备，与物化穿孔曝气共用）、变频器2套、微孔曝气盘1套。

7）阳极缺氧池二。有机物在兼氧微生物作用下分解，去除部分COD和BOD，同时接受好氧池一的硝化液，进行反硝化反应。数量1座，尺寸4.40 m×2.00 m×5.00 m，有效容积39.6 m3，地上钢砼结构。附属设备为曝气装置。

8）阳极MBR膜池。用于将A/O池出水进行高效固液分离。数量1座，尺寸2.65 m×2.50 m×5.00 m，有效容积29.8 m³，地上钢砼结构。附属设备包括MBR罗茨鼓风机2台（1用1备）、抽吸泵2台（1用1备）、电磁流量计1套、液位控制器1套、电接点真空压力 表1 个、污泥回流泵2台（1用1备）、膜组件1组、膜支架1台、溶药装置1套、药洗泵1台。

9）清水池。用于临时储水，将其作为MBR反洗原水及用于排放监测。数量1座，尺寸2.50 m×1.50 m×5.00 m，有效容积16.9 m³，地上钢砼结构。

10）阳极污泥浓缩池。存储阳极废水沉淀物及生化剩余污泥，减少其体积。数量1座，尺寸1.65 m×4.80 m×5.00 m，地上钢砼结构，设顶部盖板。附属设备包括气动隔膜泵2台（1用1备）、板框压滤机1套、溶药装置1套（与阴极系统共用）、加药泵1套。

4.1.2 阴极污水处理单元

1）阴极废水调节池。用于均衡阴极生产废水水质和水量。数量1座，尺寸为6.20 m×4.80 m×5.00 m，有效容积139 m³，地上钢砼结构，设顶部盖板，三布五涂防腐，停留时间20 h。附属设备包括穿孔曝气装置1套、一级提升泵2台、电磁流量计1套、液位控制器1套。

2）阴极Fenton反应池。硫酸亚铁与双氧水在空气的作用下与废水发生电化学反应，将废水中的复杂有机物开环裂解，使得大分子变成小分子，从而达到降解废水中有机污染物，提高废水可生化性的目的。数量1座，尺寸2.40 m×1.20 m×5.00 m，地上钢砼结构，三布五涂防腐，停留时间2 h。附属设备包括布水器1套、布气装置1套、溶药装置3套、加药计量泵5台（3用2备）、pH在线检测仪1套。

3）阴极混凝沉淀池。在此通过投加液碱调节阴极废水pH，并投加PAC、PAM将废水中的胶体物质、悬浮物混凝沉淀去除。数量1座，尺寸4.80 m×3.00 m×5.00 m，地上钢砼结构，三布五涂防腐，表面负荷0.64 m ³ /（m ² ·h）。附属设备包括加药计量泵5台（3用2备）、溶药装置3套、pH在线检测仪1套、组合填料及填料支架1套、穿孔曝气装置3套、排泥泵2台（1用1备）。

4）阴极中间水池。用于调节沉淀池出水，并防止沉淀池污泥进入生化系统。数量1座，尺寸2.00 m×1.20 m×5.00 m，地上钢砼结构。

5）阴极UASB厌氧池。将废水中的有机污染物浓度降低到适合好氧生化处理的水平。数量1座，尺寸3.60 m×3.20 m×9.0 m，有效容积99 m³，地上钢砼结构，停留时间17.5 h。附属设备包括厌氧池布水器1套、三相分离器1套、沼气收集点火装置1套。

6）阴极缺氧池一。数量1座，尺寸4.80 m×2.60 m×5.00 m，有效容积56 m³，地上钢砼结构，停留时间8 h。附属设备包括潜水搅拌机1台、营养液配制装置1套、加药计量泵1台。

7）阴极好氧池一。数量1座，设计尺寸7.80 m×4.80 m×5.00 m+3.60 m×1.30 m×5.00 m，有效容积168.48 m³，地上钢砼结构，停留时间27 h。附属设备包括罗茨鼓风机2台（1用1备，与物化穿孔曝气共用）、变频器2套、微孔曝气盘1套。

8）阴极缺氧池二。数量1座，尺寸4.80 m×2.00 m×5.00 m，有效容积43.2 m³，地上钢砼结构，停留时间6 h。附属设备包括潜水搅拌机1台、营养液配制装置1套、加药计量泵1台。

9）阴极好氧池二。数量1座，设计尺寸3.30 m×4.80 m×5.00 m，有效容积71.28 m³，地上钢砼结构，停留时间10 h。附属设备为微孔曝气盘1套。

10）阴极MBR池。数量1座，尺寸3.00 m×2.00 m×5.00 m，有效容积27 m³，地上钢砼结构。附属设备包括MBR罗茨鼓风机2台（1用1备）、抽吸泵2台（1用1备）、电磁流量计1套、液位控制器1套、电接点真空压力 表1 个、污泥回流泵2台（1用1备）、膜组件1组、膜支架1个、溶药装置1套、药洗泵1台。

11）清水池。临时储水，用作MBR反洗原水及中水系统原水。数量1座，尺寸3.20 m×2.00 m×5.00 m，有效容积28.8 m³，地上钢砼结构，停留时间4 h。

12）阴极污泥浓缩池。存储阴极废水沉淀物及生化剩余污泥，减少其体积。数量1座，尺寸1.60 m×4.80 m×5.00 m，地上钢砼结构，设顶部盖板。附属设备包括气动隔膜泵2台（1用1备）、板框压滤机1套、加药泵1套。

4.1.3 其他

设置MBR膜清洗池1座，用于MBR膜的离线清洗。清洗池尺寸1.50 m×2.00 m×5.00 m，地上钢砼结构，三布五涂防腐。

4.2 中水处理单元

1）石英砂过滤罐。利用石英砂的吸附作用进行深度处理。数量1套，处理量7 m³/h。相关设备包括提升泵2台、电磁流量计1套、液位控制器1套、过滤罐1套、电动阀门1批、油浸压力 表2 个、石英砂、管道混合器1套。

2）活性炭过滤罐。利用活性炭的吸附作用进行深度处理。数量1套，处理量7 m³/h。相关设备包括过滤罐1套、电动阀门1批、油浸压力 表2 个、活性炭。

3）一级RO。截留水中的各种无机离子、胶体物质和大分子溶质，从而取得净制水。数量1套，处理能力7 m³/h。相关设备包括RO膜组件1套、RO膜壳1套、膜支架1套、阻垢剂溶药装置1套、加药计量泵1台、油浸压力 表2 个、转子流量计3个、电动阀门2个、保安过滤器1套、药洗溶药装置1套、药洗泵1台。

4）二级RO。截留水中的各种无机离子、胶体物质和大分子溶质，从而取得净制水。数量1套，处理能力2.4 m³/h。相关设备包括RO膜组件1套、RO膜壳1套、膜支架1套、阻垢剂溶药装置1套、加药计量泵1台、油浸压力 表2 个、转子流量计3个、电动阀门2个、保安过滤器1套、药洗溶药装置1套、药洗泵1台。

5）其他设备。设置吊装设备和药液排放泵各1套。

4.3 MVR系统

1）管壳式换热器。加热室采用列管式换热器，管程内为物料，壳程内为蒸汽，壳程内配有多个折流板，以增加扰动强化传热。采用强制循环轴流泵提供动力，使物料循环蒸发，提高物料的流速以防换热管结垢。换热面积为110 m ² ，壳程D 1 100 mm×3 000 mm×4 mm，管程D 38 mm×3 000 mm×1.2 mm。附属设备包括蒸汽调节阀（气动阀）1套和冷凝器排气阀1套。

2）蒸发室。用于汽液分离、物料沉降、晶体生长。尺寸D 1 000 mm×3 000 mm×5 mm，带盐腿，含破泡丝网填料、旋流式通道除雾组合装置。附属设备包括温度传感器若干、压力传感器若干、双法兰液位计1套、高效除沫装置1套。

3）预热器。原料液经过尾气、冷凝水、蒸汽补热三级预热后，以接近沸点的水温进入蒸发器蒸发，以稳定蒸发器的蒸发状态。采用板式换热器，一级换热面积5 m ² ，二级换热面积3 m ² ，换热板片厚度0.8 mm。附属设备包括进料泵1套、电磁流量计1套、进料阀（气动阀）1套。

4）强制循环泵。用于提高蒸发器内物料的流速，可有效避免管内结垢，大流量可使溶液的平均过饱和度降低，降低局部爆发成核的几率，利于晶体生长。Q=1 000 m ³ /h，H=4 m，电机功率37 kW，开式叶轮，双端面机械密封带水冷，介质温度100 ℃，相对密度1.2（带变频）。

5）冷凝水罐。两端平板中间直筒式结构，设有液位控制系统，当冷凝水罐水位达到设定范围时，冷凝水泵自动启动，并经流量调节，稳定输出，水位低于设定范围时，冷凝水泵自动停止，循环工作。冷凝水罐容积500 L，材质316 L不锈钢。附属设备包括冷凝水出水阀1套、冷凝水泵1套、磁翻板液位计1套。

6）稠厚器。利用重力沉降原理从低浓度的半成品晶浆中分离出固体，悬浮液由中央送液槽流入母液罐，清液由周边经溢流口排出。稠厚器中的沉淀物或沉渣集向器底中心，集中后经出料口排出，从而增加物料稠度。有效容积0.5 m ³ ，材质2205不锈钢。附属设备包括出料阀（气动阀）1套、出料泵1套、离心机1套、母液罐1套、回流阀1套。

7）罗茨式蒸汽压缩机。吸入低温低压的蒸汽并通过机械压缩提升其压力和温度，使其能量得到回收和再利用，从而提高系统的热效率并减少能源消耗。进气量1.1 t/h，进气饱和蒸汽温度90 ℃，温升16 ℃，总功率90 kW，轴功率80 kW。附属设备包括压力传感器2套、温度传感器2套、喘振控制阀1套、变频器1套、减振装置1套。

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