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光刻机大变局:中国、日本、荷兰三国杀

星海情报局  · 公众号  ·  · 2025-02-07 17:33

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2024 年,阿斯麦的股市表现很不好看。年初市值约 2800 亿美元,一年过去,到 2025 年年初,市值却仍然是 2800 亿美元。由于第三季度的财报披露新增订单量仅为 26 亿欧元,远低于分析师预期的 54 亿欧元,导致市场信心大跌,阿斯麦的市值在 11 15 日跌到年内最低谷的 2591 亿美元。与 7 10 日最高峰的 4324 亿美元相比,足足跌去了 40%

有意思的是,阿斯麦股市表现差,但阿斯麦的最大客户台积电, 2024 年的股市表现却相当优异,市值从年初的 5200 亿美元,涨到年末的 11000 亿美元,差不多翻了一倍。在阿斯麦最惨的第三季度,其季报显示营收和净利润的同比增长分别为 12% 15% 。同期,台积电交出的却是一份相当靓丽的季报:营收和净利润同比分别增长 39% 54% 。我们知道, 2024 年度 AI 概念大热,市场对 AI 芯片的需求非常旺盛。受此影响,台积电高性能计算业务早已超过手机成为台积电最重要的业务,占收入的比重高达 53% Q4 ), AI 芯片业务又是其高性能计算业务中增长最快的。其最先进制程 3 纳米占整体晶圆收入的比重提高到了 26% Q4 )。

台积电最先进制程所需要的 EUV 光刻机只能向阿斯麦采购,但台积电对 EUV 的强烈需求弥补不了阿斯麦其它客户的 EUV 订单损失。阿斯麦 2024 年仅卖了 44 台极紫外( EUV )光刻机,比上一年减少 9 台,相当于下降了 17% 。这主要是受英特尔、三星和 SK 海力士等客户的需求萎缩有关。特别是英特尔,市值大跌至可怜的 800 多亿美元,连 CEO 都辞职了,已经没钱去采购昂贵的 EUV EUV 是阿斯麦营收和利润的重头戏, EUV 的销售低迷自然对阿斯麦的股价产生了重大影响。

EUV 销售差更大的业绩影响因素,是非市场因素的政治干扰。中国原本是阿斯麦最大的客户, 2024 年第一季度,中国市场占阿斯麦销售额的 49% 。但受美国政府对光刻机出口中国的限制措施的严重影响,中国市场给阿斯麦贡献的销售占比持续下降, 2024 年第四季度仅有 27% ,预计 2025 年将下降至 20% 左右。 2024 9 月,荷兰政府被迫进一步扩大了对华光刻机出口限制范围,要求阿斯麦向中国出口特定型号的浸润式深紫外( DUV )光刻机及相关服务时需申请许可。这是阿斯麦 2024 年第三季度新增订单量大跌的重要原因。

阿斯麦退出中国市场,给了竞争对手可乘之机。 2023 12 月,全球第二大光刻机厂商尼康宣布推出浸润式 ArF 光刻机新品 NSR-S636E ,于 2024 1 月开售。在此之前,尼康已中标了上海积塔半导体招标的 ArFi 浸润入式 DUV 光刻机,说明上海积塔半导体很可能是尼康新款光刻机的首个客户,甚至可能是共同研发伙伴,就像当年台积电与阿斯麦共同研发浸润式光刻机和 EUV 光刻机一样。尼康的 NSR-S636E 是一款高性能的光刻设备,分辨率≤ 38 纳米,数值孔径( NA 1.35 ,套刻精度( MMO )≤ 2.1 纳米,最高可满足 7 纳米工艺的芯片制造需求。

尼康和佳能曾在 1990 年代之前主导光刻机市场,后来在浸润式光刻机的竞争中被阿斯麦打败,基本退出高端光刻机领域的竞争。这回尼康卷土重来,是时隔二十多年首次推出高端光刻机产品,瞄准的正是阿斯麦退出的中国市场。尼康野心勃勃,计划在 2026 年之前将其对中国市场的光刻机出货量提高到原来的三倍。当然,尼康也宣称其会在“遵守规则的同时扩大业务”。 个人认为,这句话背后的潜台词是:尼康的光刻技术不含任何的美国技术成份,所以可以不受美国相关制裁政策的约束。

几年前,我在写《芯片战争》这本书的时候就认为,中国如果要想在光刻机上突围,一定得找尼康合作。尼康毕竟是光刻机行业老二,虽然差阿斯麦老远,却比中国的光刻机厂强太多了。国际合作和自主研发,两手都要硬。国际合作是优先选项,自主研发是备胎选项。

不仅是尼康,中国的光刻机厂商也在努力缩小和台积电的差距。早在 2020 6 月,上海微电子设备有限公司就透露将在 2021-2022 年交付首台国产 28 纳米工艺浸没式光刻机。 2024 9 月,工信部发布的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录》显示,国产氟化氩光刻机已具备 65 纳米分辨率及 8 纳米套刻精度。有消息称, 2025 1 7 日,中国首台国产 28 纳米芯片光刻机由上海微电子装备 ( 集团 ) 股份有限公司研发成功并交付使用,核心零部件国产化率超 90% ,单次曝光能直接生产出 28 纳米级别的芯片,配合套刻精度约为 1.9 纳米的工作台,经过多次曝光后,甚至可以实现







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